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設備紹介/精密機器用CR(クリーンルーム)
前室入口
前室
エアシャワー
第1クリーンルーム
清浄度
クラス150
平米数
630m²(長さ45m×幅14m×高さ6m)
第2クリーンルーム
清浄度
クラス500
平米数
630m²(長さ45m×幅14m×高さ6m)
第3クリーンルーム
清浄度
クラス1,500
平米数
970m²(長さ36m×幅27m×高さ7m)
第4クリーンルーム
清浄度
クラス10,000
平米数
1,560m²(長さ60m×幅26m×高さ5m)
断面図
平面図
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